产品含量: 95%
化学式: (C11H10O2)x
CAS编号: 24968-99-8
质量标准: 企业标准
包装规格: 5KG
产品说明: 外观:淡黄色液体包装:25KG/桶乙烯基-3-苯基-2-丙烯
酸酯的均聚物, 是一种负型光致抗蚀剂,在紫外光照射下聚合,
不见光的部分不聚合。曝光显影后图形分辨率好,质量稳定,对
二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力,能耐氢氟
酸、磷酸腐蚀。广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺,
亦适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图
形的加工
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